超纯水检测
检测概述 超纯水检测是对电阻率≥18MΩ·cm（25℃）、总有机碳（TOC）极低的高纯度水进行的全面质量监控与分析。超纯水广泛应用于半导体芯片制造、制药注射用水、实验室分析仪器（HPLC、ICP-MS、GC-MS）、细胞培养及锂电池生产等对水质要求极为严苛的领域。检测内容涵盖电阻率、TOC、颗粒物、微生物、溶解氧及痕量离子等核心指标，确保水质达到ASTM Type I级或GB/T 6682一级水标准，是保障高端制造工艺与精密分析结果准确性的关键环节。
检测项目
电阻率与电导率：在线电阻率监测、离线电导率测定（25℃换算）。
总有机碳（TOC）：≤5μg/L（电子级）或≤50μg/L（实验室级）。
颗粒物：≥0.05μm、≥0.1μm、≥0.5μm、≥1.0μm的颗粒计数（激光颗粒计数器）。
微生物：细菌总数、内毒素（LAL试验，注射用水要求<0.25EU/mL）。
溶解氧（DO）：ppb级溶解氧测定（半导体级要求<1μg/L）。
痕量离子：钠、钾、钙、镁、氯、硫酸根、硝酸根、磷酸根、硅酸盐（ICP-MS或离子色谱，ppb-ppt级）。
二氧化硅（SiO2）：全硅与活性硅含量（半导体级要求<0.5μg/L）。
检测样品
电子级超纯水：半导体晶圆清洗、光刻、蚀刻工艺用水。
制药用水：注射用水（WFI）、纯化水（PW）、灭菌注射用水。
实验室超纯水：色谱分析、质谱分析、原子光谱分析用水。
电池行业用水：锂电池电解液配制、隔膜清洗用水。
样品要求：采样需使用预先清洗的聚乙烯或PFA瓶；电阻率和TOC需现场在线监测或采样后立即检测；痕量离子检测需使用超净环境下的采样容器；微生物检测需灭菌容器并在采样后4小时内检测。
测试周期
常规理化指标：3-5个工作日
痕量离子全分析：7-10个工作日
在线监测：实时连续监测
注：周期从样品到达且资料齐全之日起计算，痕量分析需在超净实验室完成。
检测标准
GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 11446.1-2013 电子级水
ASTM D1193-06 试剂水标准规范
USP<643> 总有机碳
EP 2.2.44 总有机碳测定法
SEMI F63-0521 超纯水指南